招標(biāo)編號(hào): | 0618-0840TC084C06/06 |
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加入日期: | 2008.08.04 |
截止日期: | 2008.08.26 |
招標(biāo)代理: | 中招國(guó)際招標(biāo)公司 |
地 區(qū): | 湖南省 |
內(nèi) 容: | 招標(biāo)產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù): 1包:激光切割機(jī)設(shè)備及安裝 1臺(tái) 參數(shù):處理能力:能切割6英寸及其以下直徑尺寸、硅片的厚度0.2mm到1.65mm。 2包:擴(kuò)散爐設(shè)備及安裝Ⅰ 4臺(tái) 參數(shù):爐管配置(單臺(tái)設(shè)備從上到下爐管編號(hào)依次為:爐管1、爐管2、爐管3、爐管4) 3包:擴(kuò)散爐設(shè)備及安裝Ⅱ 1臺(tái) 參數(shù):工藝溫度:900~1280℃; 4包:全自動(dòng)涂膠機(jī)設(shè)備及安裝 3臺(tái) 參數(shù):產(chǎn)能 以BN308-150為例,要求膠厚3um,可在保證均勻性+/-2%的條件下,單臺(tái)產(chǎn)能必須大于70片/小時(shí) 5包:手動(dòng)光刻機(jī)設(shè)備及安裝 2臺(tái) 參數(shù):掩膜板架(掩膜板尺寸4”,5”、6”和7”);硅片尺寸 3”, 4”、5”和6” 6包:自動(dòng)光刻機(jī)設(shè)備及安裝 1臺(tái) 參數(shù):掩膜板架(掩膜板尺寸4”, 5”、6”和7”);硅片尺寸 3” ,4”,5”和6” |