招標編號：0612-0840D0710036
   廣東省機電設(shè)備招標公司受買方委托對下列產(chǎn)品及服務(wù)進行國際公開競爭性招標,于2008年9月18日在公告。現(xiàn)邀請合格投標人參加投標。
1、招標產(chǎn)品的名稱、數(shù)量及主要技術(shù)參數(shù)：
子包一：
  物理氣相沉積鍍膜機（PVD） 壹套。利用磁控濺射技術(shù)，制備金屬/合金/金屬氧化物薄膜，包括Al、W、Cr、Pt、Ti、Mo、MoW、a-IGZO等。儀器包括：基片裝載腔室和基片傳遞腔室、濺射腔室、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等。

招標文件售價：800元人民幣或120美元
子包二：
  等離子增強化學(xué)氣相沉積鍍膜機（PECVD） 壹套。該儀器主要利用等離子放電使TEOS，SiH4、NH3、H2、N2O等氣態(tài)物質(zhì)在灼熱的固體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并在該表面上沉積，形成穩(wěn)定、均勻的Si、SiO2、SiNx等固態(tài)物質(zhì)膜。儀器包括：基片裝載腔室和基片傳遞腔室、長膜腔室、控制系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)等。

招標文件售價：800元人民幣或120美元
2、購買招標文件時間：即日起至投標截止時間止，每天09:00-17:00，節(jié)假日除外。
3、購買招標文件地點：廣東省機電設(shè)備招標公司，廣州市環(huán)市中路316號金鷹大廈10樓
4、投標截止時間和開標時間：2008-10-09 9:30:00
5、開標地點：華南理工大學(xué)南秀村物資大樓招標中心二樓會議室。 中標情況將在公示。
地址：***
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開戶銀行（人民幣）：中國工商銀行廣州市一支行
開戶銀行（美元）：中國工商銀行廣州市一支行
帳號（人民幣）：3602000109000326441
帳號（美　元）：3602000109000326441