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惰性氣體手套箱、光刻設(shè)備招標(biāo)公告

信息發(fā)布日期:2009.12.14 標(biāo)簽: 浙江省招標(biāo) 杭州市招標(biāo) 
招標(biāo)編號(hào):z6984
加入日期:2009.12.14
截止日期:2009.12.24
招標(biāo)業(yè)主:浙江大學(xué)
招標(biāo)代理:杭州求是招標(biāo)代理有限公司
地 區(qū):杭州市
內(nèi) 容:文件售價(jià): 300 元人民幣,售后不退。
 
招標(biāo)公告正文

受浙江大學(xué)委托,杭州求是招標(biāo)代理有限公司對(duì) 以下 項(xiàng)目進(jìn)行競(jìng)爭(zhēng)性談判采購(gòu)。歡迎國(guó)內(nèi)外有能力的供應(yīng)商參加談判。

一、采購(gòu)編號(hào): z6984 、 z7089

二、采購(gòu)項(xiàng)目: 惰性氣體手套箱、光刻設(shè)備

三、技術(shù)指標(biāo):

設(shè)備名稱
 技術(shù)指標(biāo)
 數(shù)量
 
惰性氣體手套箱( z6984 )
 三只手,單面操作;

惰性氣體環(huán)境,獨(dú)立控制系統(tǒng);

可再生氣體純化系統(tǒng);

西門子 PLC 控制單元 , 壓力自動(dòng)控制;

含一套水分析儀、一套氧分析儀, H 2 O < 1 ppm , O 2 < 1 ppm ;

一套有機(jī)溶劑吸附系統(tǒng);一套大艙加熱系統(tǒng),可加熱過(guò)渡艙;一套除靜電裝置。
 1 臺(tái)
 
光刻設(shè)備( z7089 )
 該機(jī)主要用于半導(dǎo)體光電器件、功率器件、傳感器、混合電路、微波器件及微電子機(jī)械系統(tǒng)( MEMS )等制作的對(duì)準(zhǔn)和曝光。適用于直徑 100mm 以下,厚度為5 mm 以下各種基片的光刻。

對(duì)準(zhǔn)精度:± 0.5 μm

微動(dòng)臺(tái)掃描范圍:± 20 mm, X 、 Y 可調(diào)范圍±4 mm

承片臺(tái)上下可移動(dòng)范圍為5 mm, 旋轉(zhuǎn)角度最大為 90 °

采用多點(diǎn)光源曝光頭,光源采用超高壓直流球形汞燈,風(fēng)冷,光的不均勻性≤±6%,最大出射光束為 Ф120mm

視場(chǎng)顯微鏡:雙目分離,放大倍數(shù) 50X × 375X( 可采用雙 CCD 加液晶監(jiān)示器來(lái)顯示,放大倍數(shù) 67.5X × 420X)
 1 臺(tái) 
 

四、參加談判供應(yīng)商的資格要求:

符合《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》對(duì)合格的談判響應(yīng)方的要求,具有良好信譽(yù)和售后服務(wù)能力的企業(yè)和供應(yīng)商。

五、談判文件的發(fā)售:

1 、日期: 2009 年 12 月 14 日至 2009 年 12 月 24 日(雙休日及法定節(jié)假日除外)

2 、時(shí)間:上午 8 : 30-11 : 30 、下午 13 : 30-17 : 00

3 、地點(diǎn):杭州求是招標(biāo)代理有限公司(浙江大學(xué)玉泉校區(qū)設(shè)備樓 301 ,杭州市西湖區(qū)浙大路 38 號(hào))。

4 、談判文件售價(jià): 300 元人民幣,售后不退。

5 、參加談判供應(yīng)商購(gòu)買談判文件時(shí)應(yīng)出具的資料:

a )企業(yè)營(yíng)業(yè)執(zhí)照副本

b )資質(zhì)等級(jí)證書副本(如有)

c )法定代表人授權(quán)委托書

d )被授權(quán)人身份證

h )其他資料

6 、聯(lián)系人***

電話: 0571-88981888 , 傳真:***

六、談判響應(yīng)文件遞交截止日期: 2009 年 12 月 25 日上午 9:00

七、談判時(shí)間: 2009 年 12 月 25 日上午 9:00

八、談判地點(diǎn): 杭州求是招標(biāo)代理有限公司(浙江大學(xué)玉泉校區(qū)設(shè)備樓 301 ,杭州市西湖區(qū)浙大路 38 號(hào))

九、談判保證金:

10000 元(壹萬(wàn)元人民幣),于開標(biāo)前在杭州求是招標(biāo)代理有限公司(浙江大學(xué)玉泉校區(qū)設(shè)備樓 301 室,杭州市西湖區(qū)浙大路 38 號(hào))交納。

交付方式 : 現(xiàn)金 / 匯票 / 支票 / 銀行轉(zhuǎn)帳

收款單位(戶名) : 杭州求是招標(biāo)代理有限公司

開戶銀行:工行浙大支行

銀行賬號(hào): 1202024609900033043

 

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