招標編號: | 招標[2012]07號 |
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加入日期: | 2012.03.01 |
截止日期: | 2012.03.27 |
招標業(yè)主: | 三峽大學實驗室與資產(chǎn)管理處 |
地 區(qū): | 湖北省 |
內(nèi) 容: | 新能源研究院磁電子與納磁探測設備 |
序
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貨物名稱
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招標技術(shù)性能及要求
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數(shù)量
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單價
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金額
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參考廠商或說明
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標段一
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1
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多功能振動樣品磁強儀系統(tǒng)
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詳見附件1
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1套
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進口設備
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標段二
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2
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超高真空多功能磁控濺射鍍膜系統(tǒng)
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詳見附件2
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1套
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進口或國產(chǎn)
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序號
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技術(shù)參數(shù)、性能及配置
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投標技術(shù)性能
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響應或偏離說明
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1.主機技術(shù)指標:
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1.1
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具備多種全自動測量功能:有VSM磁測量、電學測量等多種選件可供選擇。有兩種變溫選件可供選擇,變溫范圍:77K-400K,和300K-1000K 。
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1.2
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至少可提供77K—室溫溫區(qū)、最高3特斯拉磁場的材料磁性和電學性質(zhì)研究環(huán)境。
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1.3
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非液氦制冷系統(tǒng),低噪聲,低運行成本。
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1.4
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功率要求:190-240V,50/60Hz,20A,功率:最大3 KVA 。
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1.5
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樣品腔不小于:20mm 。
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1.6
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磁場控制:整個溫度范圍里均可達到±3 Tesla 。
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1.7
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軟件具備先進的遠程控制和診斷技術(shù),可遠程對儀器進行操作和問題處理。
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2.VSM測量參數(shù):
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2.1
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VSM振蕩頻率:5至80 Hz之間
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2.2
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VSM振幅:可達到 峰值2 mm
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2.3
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數(shù)據(jù)采集和平均時間:1 sec
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2.4
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靈敏度:1秒平均時間< 10-6 emu or 0.5 %
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2.5
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噪音基:0.5%/√Hz
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2.6
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精度:1mm振幅下優(yōu)于 1% or 6 x 10-6 emu
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3.電學測量參數(shù):
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3.1
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可全自動測量交直流電阻率、Hall系數(shù)、I-V曲線、微分電阻等參數(shù)。
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3.2
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多重抗噪聲測量設計,有效降低噪聲。
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3.3
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噪聲基:1 nV/rtHz
電壓輸出范圍:± 4.5 V (一倍增益時)
電流范圍:10nA-100mA 持續(xù)操作
頻率范圍:直流或交流(0.1Hz-200Hz)
電阻測量精度:0.1% (R < 200 kΩ) 0.2% (R > 200 kΩ)
相對靈敏度:± 10 nΩ RMS (typical)
電阻測量范圍:四線法10-8Ω-106Ω
二線法106Ω-5X109Ω
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序號
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技術(shù)參數(shù)、性能及配置
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投標技術(shù)性能
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響應或偏離說明
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1.系統(tǒng)的主要組成及技術(shù)指標
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1.1
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系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機臺、真空測量及電控系統(tǒng)等部分組成;
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1.2
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濺射室極限真空度:≤3x10-6 Pa (經(jīng)烘烤除氣后);系統(tǒng)短時間暴露大氣并充干燥氮氣開始抽氣,濺射室60分鐘可達到2x10-4 Pa;
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1.3
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真空室選用優(yōu)質(zhì)不銹鋼材料制造,氬弧焊接,表面采用噴玻璃丸和電解拋光鈍化處理工藝。
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2.磁控濺射靶組件
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2.1
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磁控濺射靶組件:5套;
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2.2
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靶材尺寸:Φ60mm(其中三個可以濺射鐵磁性材料);
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2.3
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每個靶射頻濺射與直流濺射兼容,靶內(nèi)有水冷;
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2.4
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電動控制擋板組件:1套;
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2.5
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靶配有屏蔽罩,以避免靶材之間的交叉污染;
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2.6
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靶與樣品距離可調(diào),并有調(diào)位距離指示;
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3.基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺組件
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3.1
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基片尺寸:可放置φ30mm或以上的基片;同時可以安放6片;
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3.2
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六個基片工位中,其中一個工位安裝加熱爐,其余工位為水冷基片臺;
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3.3
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其中一個工位可以沉積楔形膜;
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3.4
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基片加熱最高溫度 600℃±1℃ ,由熱電偶閉環(huán)反饋控制;
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3.5
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基片轉(zhuǎn)盤能0~360°回轉(zhuǎn);基片轉(zhuǎn)盤由電機驅(qū)動,可計算機控制公轉(zhuǎn)工位及鍍膜過程;
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3.6
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基片可以加負偏壓-200V;
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3.7
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電動控制基片擋板組件:1套;
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4.工作氣路
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4.1
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兩路進氣分別由100SCCM、5SCCM質(zhì)量流量控制器控制。該件要求為進口產(chǎn)品。
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5.抽氣機組
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5.1
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磁懸浮復合分子泵及變頻控制電源:1臺,抽速:680L/s 以上。該件要求為進口產(chǎn)品。
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5.2
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直聯(lián)機械泵:1臺,抽速9升/秒;
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5.3
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機械泵與真空室之間有旁抽管路。
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6.真空測量及電控系統(tǒng)
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6.1
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電源機柜:2臺(含供電電源,有斷電保護功能);
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6.2
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控制電源:1臺(為機械泵、電磁閥、升降電機等提供電源);
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6.3
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水流報警系統(tǒng):1套(對分子泵、磁控靶有斷水報警切斷相應電源功能);
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6.4
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樣品加熱控溫電源:1套(控溫表可實現(xiàn)程序控溫,精度±0.5°C);
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6.5
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寬量程數(shù)顯真空計:1套;測量范圍:1.0x105Pa~1.0x10-8Pa。
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6.6
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600W全自動調(diào)諧射頻電源:1套。射頻電源頻率:13.56MHZ±0.005%,最小輸出功率:6W,反射功率限制:200w,脈沖重復頻率:1 to 30 kHz。該件要求為進口產(chǎn)品。
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6.7
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500W全自動直流電源:2套;
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6.8
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-200V直流偏壓電源:1套;
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6.9
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電機控制電源:2套;
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6.10
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靶擋板電源:1套;
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6.11
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加熱烘烤及照明電源:1套;
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7.計算機控制系統(tǒng)
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7.1
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由計算機(配聯(lián)想電腦)、硬件卡、軟件組成;
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7.2
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控制的內(nèi)容主要有靶擋板、樣品公轉(zhuǎn)、樣品擋板、樣品控溫等。
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8.其它部件
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8.1
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循環(huán)水機(與磁控濺射系統(tǒng)配套),1臺,12升/分鐘,水溫小于 25℃。
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8.2
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高純氣瓶,3個,用于高純99.999%的氬氣、氫氣和氧氣。
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