招標編號: 2012[018]
招標機構(gòu)名稱: 南京大學(xué)國有資產(chǎn)管理處
地 址：***
郵 編：210093
電 話：025-83592987；傳 真：***
聯(lián)系 人***
南京大學(xué)國有資產(chǎn)管理處（以下簡稱“招標機構(gòu)”）具體承辦南京大學(xué)“真空鍍膜系統(tǒng)”招標采購項目的招標采購事宜，歡迎有意向的合格投標人于2012年7月18日（星期三）上午9點30前帶營業(yè)執(zhí)照復(fù)印件與設(shè)備采購科聯(lián)系。
一.招標內(nèi)容：
1. 系統(tǒng)真空：
1.1真空室極限真空度：≤5×10-4Pa.
1.2恢復(fù)工作時間：真空室內(nèi)測量的工作壓力從1×105Pa至2×10-3Pa≤20min.
2. 真空系統(tǒng)控制：
2.1觸摸屏和PLC實現(xiàn)真空自動控制。
2.2真配置數(shù)顯復(fù)合真空計顯示高低真空數(shù)值。
2.3空操作系統(tǒng)實現(xiàn)互鎖保護，分子泵有斷水、斷相報警功能。
3. 蒸發(fā)源：
3.1電子槍：e型磁偏轉(zhuǎn)2700電子槍，單槍單電源，功率：6kw；加速電壓：6kv、10kv兩檔可切換，束流：0~0.6A可調(diào)，Y方向偏轉(zhuǎn)，X、Y方向掃描，配手持控制盒；四穴坩堝，每個容積20ml，電動換位，面板有位置顯示。
3.2電阻熱蒸發(fā)：功率2.5kw， 3組水冷電極（交替蒸發(fā)），配手持控制盒。
4. 膜厚控制：
4.1石英晶體測厚儀，與電子槍聯(lián)動，自動控制電子槍坩堝換位、蒸發(fā)速率和擋板的動作。
5. 工件臺、烘烤：
5.1真空室工作尺寸：500×500×680（寬×深×高）mm，全不銹鋼箱體，配有防污染不銹鋼屏蔽板；真空室門上有一個觀察窗，可觀察電子槍工作狀態(tài)，配用暗色玻璃，符合X射線防護國家標準。
5.2工件盤直徑φ460，φ300內(nèi)膜厚精度優(yōu)于±5%，轉(zhuǎn)速連續(xù)可調(diào)。
5.3工件盤可加熱，數(shù)顯溫控儀控溫，最高溫度3500C。
二.合格投標人必須符合《中華人民共和國政府采購法》第二十二條之規(guī)定。
三.條款解釋：本招標文件內(nèi)容的解釋權(quán)屬于南京大學(xué)國有資產(chǎn)管理處。
南京大學(xué)國有資產(chǎn)管理處
二〇一二年七月十一日